（1）預(yù)處理
有機(jī)廢氣可能會含有少量的粉塵，所以在廢氣進(jìn)入活性炭吸附裝置前還須進(jìn)行預(yù)處理，否則會堵塞活性炭微孔，影響吸附效果。預(yù)處理設(shè)備為干式過濾器，分二級過濾（G4初效+F5中效)，具有容塵量大、阻力小等特點(diǎn)。
（2）活性炭吸附
經(jīng)過前面的預(yù)處理后，廢氣通入活性炭吸附/脫附塔進(jìn)行吸附處理。利用具有大比表面積的活性炭將有機(jī)溶劑吸附在活性炭表面，去除廢氣中的有機(jī)物，達(dá)到凈化氣體的作用，經(jīng)處理后的潔凈氣體經(jīng)過風(fēng)機(jī)、煙囪高空排放。
（3）活性炭脫附階段
當(dāng)活性炭吸附飽和后，切換到脫附模式，啟動脫附風(fēng)機(jī)對該吸附床脫附。脫附風(fēng)機(jī)引入的新鮮空氣首先經(jīng)過換熱器和電加熱室進(jìn)行加熱，將新鮮空氣加熱到接近70-80℃進(jìn)入活性炭床，炭床受熱后，活性炭吸附的溶劑被解吸脫附出來。
（4）催化燃燒階段
脫附出來的廢氣流量小、濃度高，經(jīng)風(fēng)機(jī)送入到換熱器，然后進(jìn)入預(yù)熱器，在電加熱器的作用下，使氣體溫度提高到200-300℃左右，再進(jìn)入催化燃燒床。有機(jī)氣體在催化劑的作用下發(fā)生無焰燃燒，被氧化為CO2和H2O，同時放出大量的熱，氣體溫度進(jìn)一部升高，該高溫氣體再經(jīng)過催化燃燒室前的換熱器預(yù)熱未經(jīng)處理的有機(jī)氣體；從換熱器出來的氣體再通過新風(fēng)入口的換熱器對脫附新鮮空氣進(jìn)行加熱。兩處換熱器正常工作后，電加熱設(shè)備可停止加熱，節(jié)約能耗。終氣體通過煙囪引高排放。